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半導體 FDC/CMS 監控系統 首頁 e化製造 半導體 FDC/CMS 監控系統
FDC/CMS 監控實績

TSMC– CVD製程Flow、Temp、Resistivity三合一自動監控系統設計施工
TSMC– CVD製程Flow、Temperature自動監控系統設計施工
TSMC– 超音波使用逾時自動監控系統設計施工
TSMC– 半導體製程壓差/壓力自動監控系統設計施工
TSMC– 半導體製程溫濕度自動監控系統設計施工
TSMC– Mattson heater block temperature自動監控系統設計施工
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TSMC– Horiba化學液體濃度分析自動監控系統設計施工
TSMC– CVD製程Flow、Temperature自動監控系統設計施工
TSMC– Chiller Pump電流過載一秒斷電含自動監控系統設計施工
TSMC– Chiller機台漏水自動監控系統設計施工
TSMC– CVD製程Flow、Temperature自動監控系統設計施工
TSMC– Ebara真空Pump電流異常自動監控系統設計施工
TSMC– RF數位信號自動監控系統設計施工
TSMC– CVD製程Flow、Temperature自動監控系統設計施工
TSMC– Robot 機器手臂控制信號監控系統設計施工
VIS -Chiller Pump電流、漏水檢知、流量、溫度、水阻值自動監控系統設計施工
MXIC -Chiller 流量、溫度、液位自動監控系統設計施工

UMC-CMP製程Flow、Temp、Pressure自動監控

APC- FDC improve cycle
 
提供外加SENSOR方式取得機台信號。
提供信號匹配器取得機台信號。
提供RS-232轉換模組取得機台資料。
提供CMS(中央監控系統)即時或歷史曲線圖及分析資料。
提供SECSI/SECSII(HSMS)標準介面可直接整合至CIM/RTM system。
提供簡易操作介面,可將資料庫資料直接export成EXCEL檔輸出
提供網路監控(Web View)功能,可於辦公室透過IE遠端監控
 
實際案例一 ─ EM Coil current monitor
在PVD製程中(NVLS)機台提供Cu/TaN...等Chamber不同之EM coil電流,此電流信號在進入機台控制系統後再提供給FDC予以監控,但在實際PVD製程中,Coil的電流變化並無法偵測出EM coil是否短路或Coil老化等異常現象,因此若是在EM-Coil異常時進行晶片製造,可能會產生晶片品質不良或報廢之情形,為即時反應EM coil短路及EM coil阻值變異的情行,建議以Sensor取得各Chamber之EM coil voltage與Current值並于以即時監控,當EM coil有短路或阻值變異時提供早期預警的功能,以確保Chamber反應室根據要求的Recipe設定值操作
實際案例二 ─ Chiller Steel_Head1 Pump Current Analysis
 
由微電腦監控模組,取得 Steel_head1 的馬達 R/S/T 三相電流值,馬達溫度值,流量值與壓力值, 再經由 CMS 系統透過 Modbus-485 取得各項參數值並存入資料庫內,並以 HMI 內含之 Trend Chart 圖表繪圖功能,分析機台運作時的各項參數變化值。
 
實際案例三 ─ 機器手臂控制信號監控系統
針對2 sets 之Kensington Robot Waist/Arm/Z 軸故障或控制信號失效線上偵測。
配合Kensington Robot 機器手臂控制信號作動態偵測,自動過濾非Active 信號 。
66 個被監控信號之即時 Trend chart 與 History trend chart。
66 個被監控信號之即時警報與歷史警報。
偵測得知異常狀況發生後,即觸發SECS_Router 產生S5F1 Alarm message to CIM 系統。
提供SECSII(HSMS)標準介面可直接整合至CIM/RTM system。
提供Internet 網路Web View 功能,可作遠端偵測與操作設定功能。
 
系統操作畫面 四個 Sensor trend 畫面
   

SECS / GEM BOX

 

 

 

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